Влияние микроволнового облучения на сопротивление омических контактах Au-TiBx-Ge-Au-n+-n+-n++-GaAs(InP)

Беляев, А. Е., Саченко, А. В., Болтовец, Н. С., Иванов, В. Н., Конакова, Р. В., Кудрик, Я. Я., Матвеева, Л. А., Миленин, В. В., Новицкий, С. В., Шеремет, В. Н. (2012) Влияние микроволнового облучения на сопротивление омических контактах Au-TiBx-Ge-Au-n+-n+-n++-GaAs(InP). Физика и техника полупроводников, 46 (4). pp. 558-561. ISSN 0015-3222

[img]
Preview
Text
Download (165kB) | Preview
Official URL: http://journals.ioffe.ru/ftp/

Abstract

Экспериментально и теоретически исследованы температурные зависимости удельного контактного со- противления ρc омических контактов Au–TiBx−Ge−Au−n−n +−n ++(GaAs)-InP до и после кратковременной (10 с) микроволновой обработки. Показано, что после микроволновой обработки ρc может уменьшаться во всем температурном интервале измерений 100−400 K. Получено хорошее согласие экспериментальных и теоретических зависимостей ρc(T), объяснение дано в предположении изменения плотности дислокаций в приконтактной области полупроводника, стимулированного микроволновым излучением.

Item Type: Article
Subjects: Q Science > QC Physics
T Technology > TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering
Divisions: Faculty of Physics and Mathematics > Department of Physics and Its Teaching Methods
Depositing User: С.В. Новицький
Date Deposited: 03 Feb 2014 07:36
Last Modified: 15 Aug 2015 05:39
URI: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/10522

Actions (login required)

View Item View Item