Ткаченко, А. К., Новицкий, С. В., Шеремет, В. Н. (2012) Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs. Материалы конференции. [Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики»], (Саранск, Россия, 28—30 мая, 2012 г.), 1. pp. 68-72.
|
Text
Download (2MB) | Preview |
Abstract
В статье идет речь об влиянии быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
Item Type: | Article |
---|---|
Subjects: | Q Science > QC Physics T Technology > TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering |
Divisions: | Faculty of Physics and Mathematics > Department of Physics and Its Teaching Methods |
Depositing User: | С.В. Новицький |
Date Deposited: | 04 Feb 2014 10:32 |
Last Modified: | 15 Aug 2015 05:40 |
URI: | http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/10534 |
Actions (login required)
View Item |