Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs

Ткаченко, А. К. and Новицкий, С. В. and Шеремет, В. Н. (2012) Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs. Материалы конференции. [Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики»], (Саранск, Россия, 28—30 мая, 2012 г.), 1. pp. 68-72.

[img]
Preview
Text
Download (2MB) | Preview

Abstract

В статье идет речь об влиянии быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs

Item Type: Article
Subjects: Q Science > QC Physics
T Technology > TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering
Divisions: Faculty of Physics and Mathematics > Department of Physics and Labor Protection
Depositing User: С.В. Новицький
Date Deposited: 04 Feb 2014 10:32
Last Modified: 15 Aug 2015 05:40
URI: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/10534

Actions (login required)

View Item View Item

Downloads

Downloads per month over past year

View more statistics