Влияние микроволнового излучения на механизм токопереноса в омических контактах к соединениям А3В5

Саченко, А. В., Беляев, А. Е., Болтовец, Н. С., Конакова, Р. В., Кудрик, Я. Я., Новицкий, С. В., Шеремет, В. Н., Быков, Ю. В., Егоров, Ю. В., Еремеев, А. Г. (2012) Влияние микроволнового излучения на механизм токопереноса в омических контактах к соединениям А3В5. Труды конфиренции. [VIII Международ. науч. конф. «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах»], (Томск, Россия, 2012, 14—26 октября). с. 333-336.

[img]
Перегляд
Text
Download (413kB) | Перегляд
Офіційний URL: http://portal.tpu.ru/science/konf/rtep

Опис

Исследовано влияние микроволновой обработки частотой 2,4 и 24 ГГц на параметры омических контактов к GaAs и InP. До и после микроволновой обработки измерены зависимости удельного контактного сопротивле- ния от температуры, которые описаны моделью омического контакта с высокой плотностью дислокаций в при- контактной области полупроводника с учетом диффузионного подвода электронов и сопротивления шунтов. Микроволновая обработка приводит к увеличению плотности проводящих дислокаций (в ~1,5 раза), что приво- дит к уменьшению удельного контактного сопротивления.

Тип елементу : Стаття
Теми: Q Наука > QC Фізика
T Технологія > TK Радіотехніка. Атомна енергетика
Підрозділи: Фізико-математичний факультет > Кафедра фізики та методики її навчання
Користувач, що депонує: С.В. Новицький
Дата внесення: 03 Лют 2014 07:03
Останні зміни: 15 Серп 2015 05:40
URI: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/10536

Actions (login required)

Перегляд елементу Перегляд елементу