Храпійчук, І. В., Томашик, В. М.
(2014)
Взаємодія CdTe та твердих розчинів на його основі з травниками системи NaNO2 - HI.
ЖДУ ім. І.Франка.
Abstract
Робота присвячена експериментальному дослідженню хімічної взаємодії монокристалів CdTe, Zn0,04Cd0,96Te, Zn0,1Cd0,9Te та Cd0,2Hg0,8Te з розчинами системи NaNO2 – HI і розробці, на основі отриманих результатів, травників та методик і режимів полірування поверхні вказаних напівпровідників.
Побудовано концентраційні залежності швидкості травлення напівпровідників від складу травильної композиції та встановлено якість поверхні після розчинення у розчинах системи NaNO2 – HI. Досліджено кінетичні закономірності процесу розчинення напівпровідникових матеріалів типу AIIBVI в йодвиділяючих розчинах системи NaNO2 – HI та встановлено, що всі розчини можуть бути використані для хімічного полірування. Встановлено залежність швидкості розчинення напівпровідникових сполук від їх складу.
Actions (login required)
 |
View Item |
