On a feature of temperature dependence of contact resistivity for ohmic contacts to n-Si with an n+-n doping step

Sachenko А. V., Belyaev А. Е., Boltovets N. S., Vіnogradov А. О., Pіlіpenкo V. А., Sheremet V. N. (2014) On a feature of temperature dependence of contact resistivity for ohmic contacts to n-Si with an n+-n doping step. Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 2014. V. 17, N 1. P. 1-6., 17 (1). С. 1–6.

[img]
Preview
Текст
Download (3MB) | Preview

Анотація

We present both theoretical and experimental temperature dependences of contact resistivity ρс(Т) for ohmic contacts to the silicon n+-n-structures whose n+-layer was formed using phosphorus diffusion or ion implantation.

Тип ресурсу: Стаття
Класифікатор: Q Наука > QC Фізика
Відділи: Фізико-математичний факультет > Кафедра фізики та методики її навчання
Користувач: Богдан Володимирович Свищ
Дата подачі: 25 Лист 2014 12:16
Оновлення: 15 Серп 2015 10:28
URI: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/14144

Actions (login required)

Оглянути опис ресурсу Оглянути опис ресурсу