Гвоздієвський, Є. Є., Денисюк, Р. О., Томашик, В. М., Томашик, З. Ф., Гриців, В. І.
(2013)
Хімічне полірування CdTe та твердих розчинів ZnXCd1-XTe і Cd1-XHgXTe водними розчинами HNO3–ні–тартратна кислота.
Науковий вісник Чернівецького університету (658).
pp. 136-140.
ISSN 2223-1722
Abstract
Досліджено процеси хімічного розчинення монокристалів CdTe та твердих розчинів ZnxCd1-xTe і Cd0,2Hg0,8Te в водних розчинах HNO3–НІ–тартратна кислота. Визначено залежності швидкості травлення вказаних матеріалів від концентрації окиснювача та органічного розчинника і кінетичні
особливості процесу. Встановлено, що швидкість розчинення твердих розчинів Zn0,04Cd0,96Te, Zn0,1Cd0,9Te та Cd0,2Hg0,8Te в досліджуваних травильних сумішах сповільнюється із збільшенням вмісту
окислювача і тартратної кислоти. Оптимізовано склади поліруючих травників і режими хіміко-
динамічного полірування поверхні монокристалів досліджуваних напівпровідникових матеріалів.
Actions (login required)
 |
View Item |
