Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь

Томашик, В. М., Томашик, З. Ф., Кусяк, Н. В. (2001) Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь. Фізика і хімія твердого тіла, 2 (4). с. 631-636. ISSN 1729-4428

[img]
Перегляд
Text
Download (256kB) | Перегляд

Опис

Досліджено характер хімічного розчинення нелегованого та легованого оловом InAs в розчинах системи HNO3-HBr-етиленгліколь. Побудовано поверхні рівних швидкостей травлення (діаграми Гіббса), з’ясовано кінетичні закономірності і визначено лімітуючі стадії процесу розчинення та області поліруючих розчинів. Встановлено вплив легування на характер хімічного травлення арсеніду індію. На основі проведених експериментів визначено концентраційні границі розчинів, які можна використовувати для різних хімічних обробок (полірування, селективне травлення) нелегованого та легованого оловом арсеніду індію.

Тип елементу : Стаття
Теми: Q Наука > QD Хімія
Підрозділи: Природничий факультет > Кафедра хімії
Користувач, що депонує: Олександр Сергійович Яценко
Дата внесення: 09 Квіт 2015 13:59
Останні зміни: 09 Квіт 2015 14:08
URI: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/16860

Actions (login required)

Перегляд елементу Перегляд елементу