Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь

Томашик, В. М. and Томашик, З. Ф. and Кусяк, Н. В. (2001) Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь. Фізика і хімія твердого тіла, 2 (4). pp. 631-636. ISSN 1729-4428

[img]
Preview
Text
Download (256kB) | Preview

Abstract

Досліджено характер хімічного розчинення нелегованого та легованого оловом InAs в розчинах системи HNO3-HBr-етиленгліколь. Побудовано поверхні рівних швидкостей травлення (діаграми Гіббса), з’ясовано кінетичні закономірності і визначено лімітуючі стадії процесу розчинення та області поліруючих розчинів. Встановлено вплив легування на характер хімічного травлення арсеніду індію. На основі проведених експериментів визначено концентраційні границі розчинів, які можна використовувати для різних хімічних обробок (полірування, селективне травлення) нелегованого та легованого оловом арсеніду індію.

Item Type: Article
Subjects: Q Science > QD Chemistry
Divisions: Faculty of Natural Sciences > Department of Chemistry
Depositing User: Олександр Сергійович Яценко
Date Deposited: 09 Apr 2015 13:59
Last Modified: 09 Apr 2015 14:08
URI: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/16860

Actions (login required)

View Item View Item

Downloads

Downloads per month over past year

View more statistics