Томашик, В. М., Томашик, З. Ф., Кусяк, Н. В.
(2001)
Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь.
Фізика і хімія твердого тіла, 2 (4).
pp. 631-636.
ISSN 1729-4428
Abstract
Досліджено характер хімічного розчинення нелегованого та легованого оловом InAs в
розчинах системи HNO3-HBr-етиленгліколь. Побудовано поверхні рівних швидкостей травлення (діаграми Гіббса), з’ясовано кінетичні закономірності і визначено лімітуючі
стадії процесу розчинення та області поліруючих розчинів. Встановлено вплив легування на характер хімічного травлення арсеніду індію. На основі проведених експериментів
визначено концентраційні границі розчинів, які можна використовувати для різних хімічних обробок (полірування, селективне травлення) нелегованого та легованого оловом арсеніду індію.
Actions (login required)
 |
View Item |
