Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота

Шелюк І. О., Томашик З. Ф., Томашик В. М., Денисюк Р. О., Стратійчук І. Б. (2011) Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота. Вопросы химии и химической технологии (1). С. 110–114. ISSN 0321-4095

[img]
Preview
Текст
Download (283kB) | Preview
Тип ресурсу: Стаття
Класифікатор: Q Наука > QD Хімія
Відділи: Природничий факультет > Кафедра хімії
Користувач: Олександр Сергійович Яценко
Дата подачі: 09 Квіт 2015 21:16
Оновлення: 09 Квіт 2015 21:20
URI: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/16866

Actions (login required)

Оглянути опис ресурсу Оглянути опис ресурсу