Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник

Томашик, З. Ф., Чернюк, О. С., Томашик, В. М., Гриців, В. І., Кусяк, Н. В. (2005) Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника (40). pp. 162-166. ISSN 0233-7577

[img]
Preview
Text
Download (188kB) | Preview
Item Type: Article
Subjects: Q Science > QD Chemistry
Divisions: Faculty of Natural Sciences > Department of Chemistry
Depositing User: Олександр Сергійович Яценко
Date Deposited: 10 Jun 2015 09:38
Last Modified: 10 Jun 2015 09:48
URI: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/17755

Actions (login required)

View Item View Item