входить
процесом
при
мкм
композицій
цінних
дослідження
вмістом
для
володіють
університет
повітря
використанням
відбувається
індію
також
промивали
протягом
ZEISS
травником
розчини
розчином
відіграє
мають
86хв
відеокамерою
1600x
вмісті
плівок
імені
значний
того
нелегованого
розчинах
динамічного
попередньо
Концентраційні
гідроген
суміші
ТИПУ
станумом
неполіруючи
Франка
обробки
температурі
поверхонь
арсеніди
концентраційному
проводили
зростання
Шорсткість
іnsb
досліджено
відшліфованого
товщини
напівпровідників
сполук
якому
100
120
після
марки
державний
галію
вимірювали
ina
струмені
встановлено
поліруючими
великою
фотографували
AUTO
Шелюк
Житомирський
точністю
припинення
початком
той
3030
фінішного
Рис
порушений
поверхні
механічно
НАПІВПРОВІДНИКІВ
формування
na2s2o3
відповідно
Процеси
перспективними
зменшенню
мікроскопу
2hbr
зняття
двох
травильні
цих
Чернюк
падають
годин
практичний
інтервалу
пероксид
полірування
вони
хіміко
рядом
вивчали
установці
br2
Н2О2
можна
шар
н2о2–hbr
від
293
потім
Зразки
характеризуються
готували
роль
матеріалів
визначали
витримували
профілографічного
шарів
властивості
стибідів
найбільш
сумішами
INSPECTION
невеликим
полірувальні
піцеїну
роботі
поліруючих
травильними
інтервалі
РОЗЧИНАМИ
між
легованого
зразків
Івана
обертається
291
приладу
підкладки
швидкості
Окрепка
хімічної
час
операцій
підгратки
проходить
досліджуваних
напiвпровiдникових
монокристалів
висушували
хімічного
Після
Перед
фізики
тонких
аніонної
оскільки
інтерес
контрольованого
inassn
водним
складу
використовувати
1МИГП
хв–1
реакції
напівпровідникових
h2o2–hbr
межах
універсального
зафіксовано
зразки
температурні
розчинення
всі
основі
gaa
Травильні
стороною
H2O2
результатами
багатообертового
кристалів
JENATECH
відполірованого
Швидкість
кількістю
окисник
компонентами
різко
диску
зростають
При
повного
АІІІВV
вихідними
травильних
25x
2H2O
композиції
іnа
закономірності
Томашик
контрольного
взаємодії
наклеювали
кристала
низькими
полірованої
газовиділення
нвr
видаляли
збільшенні
допомогою
ХДП
яких
розчинами
DEKTAK
Швидкості
GаА
подальші
hbr
gasb
дистильованої
обертання
характері
властивостей
спочатку
представляють
аналізів
залежності
травників
insb
індикатора
методики
визначну
Експерименти
Мікроструктуру
Лашкарьова
мікроструктурного
неробочою
реактиви
досліджуваного
вмісту
містять
води
рис
Виявлено
Інститут
вказаних
травлення
типу
швидкостями
gаsb
видно
II
“хч”
концентраційні
ВЗАЄМОДІЯ