Измерение скорости поверхностной рекомбинации и объемного времени жизни в Si пластинах по кинетике избыточного теплового излучения

Богатыренок В. В., Зиновчук А. В. (2010) Измерение скорости поверхностной рекомбинации и объемного времени жизни в Si пластинах по кинетике избыточного теплового излучения. Физика и техника полупроводников, 45 (1). С. 62–66. ISSN 0015-3222

[img]
Preview
Текст
Download (383kB) | Preview

Анотація

В работе представлен бесконтактный, неразрушающий метод измерений рекомбинационных параметров (скорость поверхностной рекомбинации, объемное и эффективное время жизни свободных носителей) в Si пластинах. Метод основан на анализе кинетики релаксации избыточного теплового излучения пластины за краем собственного поглощения Si (>3 мкм) при возбуждении коротким лазерным импульсом с энергией кванта больше ширины запрещенной зоны Si. Представлены экспериментальные результаты для пластин толщиной 300 мкм и 2 мм, возбужденных лазерным излучением с длинами волн 0.96 мкм и 1.06 мкм при температурах выше комнатной. Разделение поверхностной и объемной составляющих эффективного времени жизни проводится путем экстраполяции конечного участка кинетики релаксации избыточного теплового излучения до пересечения с координатной осью y. В работе представлен бесконтактный, неразрушающий метод измерений рекомбинационных параметров (скорость поверхностной рекомбинации, объемное и эффективное время жизни свободных носителей) в Si пластинах. Метод основан на анализе кинетики релаксации избыточного теплового излучения пластины за краем собственного поглощения Si (>3 мкм) при возбуждении коротким лазерным импульсом с энергией кванта больше ширины запрещенной зоны Si. Представлены экспериментальные результаты для пластин толщиной 300 мкм и 2 мм, возбужденных лазерным излучением с длинами волн 0.96 мкм и 1.06 мкм при температурах выше комнатной. Разделение поверхностной и объемной составляющих эффективного времени жизни проводится путем экстраполяции конечного участка кинетики релаксации избыточного теплового излучения до пересечения с координатной осью y.

Тип ресурсу: Стаття
Ключові слова: скорости поверхностной рекомбинации, избыточное тепловое излучение, время жизни
Класифікатор: Q Наука > QC Фізика
Відділи: Фізико-математичний факультет > Кафедра фізики та методики її навчання
Користувач: Богдан Володимирович Свищ
Дата подачі: 21 Лист 2012 11:58
Оновлення: 27 Серп 2015 15:23
URI: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/8348

Actions (login required)

Оглянути опис ресурсу Оглянути опис ресурсу