Хімічна взаємодія Cd1-xMnxTe з травильними композиціями Н2О2 – НІ – лактатна кислота

Денисюк, Р. О. and Томашик, В. М. and Томашик, З. Ф. and Гриців, В. І. (2012) Хімічна взаємодія Cd1-xMnxTe з травильними композиціями Н2О2 – НІ – лактатна кислота. Фізика і хімія твердого тіла, 13 (2). pp. 410-414. ISSN 1729-4428

[img]
Preview
Text
Download (187kB) | Preview

Abstract

У відтворюваних гідродинамічних умовах досліджено кінетику розчинення CdTe та Cd1-xMnxTe в травниках системи НІ – Н2О2 – лактатна кислота. Побудовано поверхні однакових швидкостей розчинення (діаграми Гіббса), встановлено області поліруючих, селективних та не поліруючих розчинів, визначено лімітуючі стадії процесу полірування вказаних напівпровідників. Встановлено швидкості хіміко-механічного полірування розчинами Н2О2 – НІ – лактатна кислота, визначено вплив розведення базових поліруючих травників в’язкими розчинниками на поліруючі властивості та якість поверхні кристалів Cd1-xMnxTe.

Item Type: Article
Subjects: Q Science > QD Chemistry
Divisions: Faculty of Natural Sciences > Department of Chemistry
Depositing User: к.х.н Роман Денисюк
Date Deposited: 06 Dec 2012 10:07
Last Modified: 15 Aug 2015 02:39
URI: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/8602

Actions (login required)

View Item View Item

Downloads

Downloads per month over past year

View more statistics