Денисюк Р. О., Томашик З. Ф., Томашик В. М., Чернюк О. С., Гриців В. І.
(2008)
Формування полірованих поверхонь монокристалів твердих розчинів Cd1-xМnxTe йодвиділяючими сумішами на основі Н2О2 – НІ.
In: 3-тя Міжнар. наук.-тех. конф. „Сенсорна електроніка та мікросистемні технології”, 2-6 червня 2008 р. , Одеса.
Анотація
В даній роботі досліджено процеси хімічного травлення поверхні твердих
розчинів складу Cd1-хMnхTe (де х = 0,04; 0,2; 0,3 та 0,5) в травильних композиціях
систем Н2О2–НІ–органічна кислота, вивчено концентраційні залежності швидкості
травлення вказаних напівпровідникових матеріалів, стан поверхні після травлення
методами металографічного і профілографічного аналізів.
Actions (login required)
 |
Оглянути опис ресурсу |
