eprintid: 10536
rev_number: 29
eprint_status: archive
userid: 11
dir: disk0/00/01/05/36
datestamp: 2014-02-03 07:03:55
lastmod: 2015-08-15 05:40:00
status_changed: 2014-02-03 07:03:55
type: article
metadata_visibility: show
title: Влияние микроволнового излучения на механизм токопереноса в омических контактах к соединениям А3В5
language: russian
abstract: Исследовано влияние микроволновой обработки частотой 2,4 и 24 ГГц на параметры омических контактов 
к GaAs и InP. До и после микроволновой обработки измерены зависимости удельного контактного сопротивле-
ния от температуры, которые описаны моделью омического контакта с высокой плотностью дислокаций в при-
контактной области полупроводника с учетом диффузионного подвода электронов и сопротивления шунтов. 
Микроволновая обработка приводит к увеличению плотности проводящих дислокаций (в ~1,5 раза), что приво-
дит к уменьшению удельного контактного сопротивления. 

creators_name: Саченко, А. В.
creators_name: Беляев, А. Е.
creators_name: Болтовец, Н. С.
creators_name: Конакова, Р. В.
creators_name: Кудрик, Я. Я.
creators_name: Новицкий, С. В.
creators_name: Шеремет, В. Н.
creators_name: Быков, Ю. В.
creators_name: Егоров, Ю. В.
creators_name: Еремеев, А. Г.
ispublished: pub
subjects: QC
subjects: TK
divisions: sch_phy
full_text_status: public
date: 2012-10
date_type: published
publication: Труды конфиренции. [VIII Международ. науч. конф. «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах»], (Томск, Россия, 2012, 14—26 октября)
publisher: Томск: Изд. ТПУ
pagerange: 333-336
refereed: TRUE
official_url: http://portal.tpu.ru/science/konf/rtep
citation:   Саченко, А. В. and Беляев, А. Е. and Болтовец, Н. С. and Конакова, Р. В. and Кудрик, Я. Я. and Новицкий, С. В. and Шеремет, В. Н. and Быков, Ю. В. and Егоров, Ю. В. and Еремеев, А. Г.  (2012) Влияние микроволнового излучения на механизм токопереноса в омических контактах к соединениям А3В5.  Труды конфиренции. [VIII Международ. науч. конф. «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах»], (Томск, Россия, 2012, 14—26 октября).  pp. 333-336.      
document_url: http://eprints.zu.edu.ua/10536/1/333-336_Konakova.pdf