<mods:mods version="3.3" xsi:schemaLocation="http://www.loc.gov/mods/v3 http://www.loc.gov/standards/mods/v3/mods-3-3.xsd" xmlns:mods="http://www.loc.gov/mods/v3" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance"><mods:titleInfo><mods:title>Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь</mods:title></mods:titleInfo><mods:name type="personal"><mods:namePart type="given">В. М.</mods:namePart><mods:namePart type="family">Томашик</mods:namePart><mods:role><mods:roleTerm type="text">author</mods:roleTerm></mods:role></mods:name><mods:name type="personal"><mods:namePart type="given">З. Ф.</mods:namePart><mods:namePart type="family">Томашик</mods:namePart><mods:role><mods:roleTerm type="text">author</mods:roleTerm></mods:role></mods:name><mods:name type="personal"><mods:namePart type="given">Н. В.</mods:namePart><mods:namePart type="family">Кусяк</mods:namePart><mods:role><mods:roleTerm type="text">author</mods:roleTerm></mods:role></mods:name><mods:abstract>Досліджено характер хімічного розчинення нелегованого та легованого оловом InAs в&#13;
розчинах системи HNO3-HBr-етиленгліколь. Побудовано поверхні рівних швидкостей травлення (діаграми Гіббса), з’ясовано кінетичні закономірності і визначено лімітуючі&#13;
стадії процесу розчинення та області поліруючих розчинів. Встановлено вплив легування на характер хімічного травлення арсеніду індію. На основі проведених експериментів&#13;
визначено концентраційні границі розчинів, які можна використовувати для різних хімічних обробок (полірування, селективне травлення) нелегованого та легованого оловом арсеніду індію. </mods:abstract><mods:classification authority="lcc">QD Chemistry</mods:classification><mods:originInfo><mods:dateIssued encoding="iso8061">2001</mods:dateIssued></mods:originInfo><mods:genre>Article</mods:genre></mods:mods>