  <eprint id="http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/16860" xmlns="http://eprints.org/ep2/data/2.0">
    <eprintid>16860</eprintid>
    <rev_number>11</rev_number>
    <documents>
      <document id="http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819">
        <docid>66819</docid>
        <rev_number>1</rev_number>
        <files>
          <file id="http://eprints.zu.edu.ua/id/file/322272">
            <fileid>322272</fileid>
            <datasetid>document</datasetid>
            <objectid>66819</objectid>
            <filename>0204-13.pdf</filename>
            <mime_type>application/pdf</mime_type>
            <hash>dd9790e5e2384d6fc94c665a1a2313dd</hash>
            <hash_type>MD5</hash_type>
            <filesize>256559</filesize>
            <mtime>2015-04-09 13:57:54</mtime>
            <url>http://eprints.zu.edu.ua/16860/1/0204-13.pdf</url>
          </file>
        </files>
        <eprintid>16860</eprintid>
        <pos>1</pos>
        <placement>1</placement>
        <mime_type>application/pdf</mime_type>
        <format>text</format>
        <language>uk</language>
        <security>public</security>
        <main>0204-13.pdf</main>
      </document>
      <document id="http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66824">
        <docid>66824</docid>
        <rev_number>2</rev_number>
        <files>
          <file id="http://eprints.zu.edu.ua/id/file/322287">
            <fileid>322287</fileid>
            <datasetid>document</datasetid>
            <objectid>66824</objectid>
            <filename>lightbox.jpg</filename>
            <mime_type>image/png</mime_type>
            <hash>e5b2b56338c3cef6a1fffb2b11ee4286</hash>
            <hash_type>MD5</hash_type>
            <filesize>52732</filesize>
            <mtime>2015-04-09 14:08:01</mtime>
            <url>http://eprints.zu.edu.ua/16860/2/lightbox.jpg</url>
          </file>
        </files>
        <eprintid>16860</eprintid>
        <pos>2</pos>
        <placement>2</placement>
        <mime_type>image/png</mime_type>
        <format>other</format>
        <formatdesc>Thumbnails conversion from text to thumbnail_lightbox</formatdesc>
        <language>en</language>
        <security>public</security>
        <main>lightbox.jpg</main>
        <relation>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVolatileVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/islightboxThumbnailVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
        </relation>
      </document>
      <document id="http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66825">
        <docid>66825</docid>
        <rev_number>2</rev_number>
        <files>
          <file id="http://eprints.zu.edu.ua/id/file/322288">
            <fileid>322288</fileid>
            <datasetid>document</datasetid>
            <objectid>66825</objectid>
            <filename>preview.jpg</filename>
            <mime_type>image/png</mime_type>
            <hash>4116bb30b06d5d4105e449a8ee4a8b54</hash>
            <hash_type>MD5</hash_type>
            <filesize>20077</filesize>
            <mtime>2015-04-09 14:08:02</mtime>
            <url>http://eprints.zu.edu.ua/16860/3/preview.jpg</url>
          </file>
        </files>
        <eprintid>16860</eprintid>
        <pos>3</pos>
        <placement>3</placement>
        <mime_type>image/png</mime_type>
        <format>other</format>
        <formatdesc>Thumbnails conversion from text to thumbnail_preview</formatdesc>
        <language>en</language>
        <security>public</security>
        <main>preview.jpg</main>
        <relation>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVolatileVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/ispreviewThumbnailVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
        </relation>
      </document>
      <document id="http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66826">
        <docid>66826</docid>
        <rev_number>2</rev_number>
        <files>
          <file id="http://eprints.zu.edu.ua/id/file/322289">
            <fileid>322289</fileid>
            <datasetid>document</datasetid>
            <objectid>66826</objectid>
            <filename>medium.jpg</filename>
            <mime_type>image/png</mime_type>
            <hash>83c29eb866dfa5a9b4f4b94d7e8d64da</hash>
            <hash_type>MD5</hash_type>
            <filesize>6888</filesize>
            <mtime>2015-04-09 14:08:03</mtime>
            <url>http://eprints.zu.edu.ua/16860/4/medium.jpg</url>
          </file>
        </files>
        <eprintid>16860</eprintid>
        <pos>4</pos>
        <placement>4</placement>
        <mime_type>image/png</mime_type>
        <format>other</format>
        <formatdesc>Thumbnails conversion from text to thumbnail_medium</formatdesc>
        <language>en</language>
        <security>public</security>
        <main>medium.jpg</main>
        <relation>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVolatileVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/ismediumThumbnailVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
        </relation>
      </document>
      <document id="http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66827">
        <docid>66827</docid>
        <rev_number>2</rev_number>
        <files>
          <file id="http://eprints.zu.edu.ua/id/file/322290">
            <fileid>322290</fileid>
            <datasetid>document</datasetid>
            <objectid>66827</objectid>
            <filename>small.jpg</filename>
            <mime_type>image/png</mime_type>
            <hash>105a06e6f31e10a7a2f6095abeac823f</hash>
            <hash_type>MD5</hash_type>
            <filesize>1937</filesize>
            <mtime>2015-04-09 14:08:04</mtime>
            <url>http://eprints.zu.edu.ua/16860/5/small.jpg</url>
          </file>
        </files>
        <eprintid>16860</eprintid>
        <pos>5</pos>
        <placement>5</placement>
        <mime_type>image/png</mime_type>
        <format>other</format>
        <formatdesc>Thumbnails conversion from text to thumbnail_small</formatdesc>
        <language>en</language>
        <security>public</security>
        <main>small.jpg</main>
        <relation>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVolatileVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/issmallThumbnailVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66819</uri>
          </item>
        </relation>
      </document>
    </documents>
    <eprint_status>archive</eprint_status>
    <userid>65</userid>
    <dir>disk0/00/01/68/60</dir>
    <datestamp>2015-04-09 13:59:43</datestamp>
    <lastmod>2015-04-09 14:08:04</lastmod>
    <status_changed>2015-04-09 13:59:43</status_changed>
    <type>article</type>
    <metadata_visibility>show</metadata_visibility>
    <title>Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь</title>
    <language>ukraine</language>
    <abstract>Досліджено характер хімічного розчинення нелегованого та легованого оловом InAs в&#13;
розчинах системи HNO3-HBr-етиленгліколь. Побудовано поверхні рівних швидкостей травлення (діаграми Гіббса), з’ясовано кінетичні закономірності і визначено лімітуючі&#13;
стадії процесу розчинення та області поліруючих розчинів. Встановлено вплив легування на характер хімічного травлення арсеніду індію. На основі проведених експериментів&#13;
визначено концентраційні границі розчинів, які можна використовувати для різних хімічних обробок (полірування, селективне травлення) нелегованого та легованого оловом арсеніду індію.</abstract>
    <creators>
      <item>
        <name>
          <family>Томашик</family>
          <given>В. М.</given>
        </name>
      </item>
      <item>
        <name>
          <family>Томашик</family>
          <given>З. Ф.</given>
        </name>
      </item>
      <item>
        <name>
          <family>Кусяк</family>
          <given>Н. В.</given>
        </name>
      </item>
    </creators>
    <ispublished>pub</ispublished>
    <subjects>
      <item>QD</item>
    </subjects>
    <divisions>
      <item>sch_che</item>
    </divisions>
    <full_text_status>public</full_text_status>
    <date>2001</date>
    <date_type>published</date_type>
    <publication>Фізика і хімія твердого тіла</publication>
    <volume>2</volume>
    <number>4</number>
    <pagerange>631-636</pagerange>
    <refereed>TRUE</refereed>
    <issn>1729-4428</issn>
  </eprint>
