@prefix epid: .
@prefix void: .
@prefix xsd: .
@prefix cc: .
@prefix ep: .
@prefix eprel: .
@prefix dc: .
@prefix bibo: .
@prefix geo: .
@prefix owl: .
@prefix event: .
@prefix skos: .
@prefix foaf: .
@prefix rdfs: .
@prefix rdf: .
@prefix dct: .
<>
foaf:primaryTopic ;
rdfs:comment "The repository administrator has not yet configured an RDF license."^^xsd:string .
rdfs:label "0204-13.pdf"^^xsd:string .
rdfs:label "lightbox.jpg"^^xsd:string .
rdfs:label "preview.jpg"^^xsd:string .
rdfs:label "medium.jpg"^^xsd:string .
rdfs:label "small.jpg"^^xsd:string .
dc:format "text/html";
dc:title "HTML Summary of #16860 \n\nХімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь\n\n";
foaf:primaryTopic .
dct:hasPart ;
ep:hasFile ;
rdf:type bibo:Document,
ep:Document;
rdfs:label "Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь (Text)"^^xsd:string .
dct:hasPart ;
ep:hasFile ;
eprel:isVersionOf ;
eprel:isVolatileVersionOf ;
eprel:islightboxThumbnailVersionOf ;
rdf:type ep:Document;
rdfs:label "Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь (Other)"^^xsd:string .
dct:hasPart ;
ep:hasFile ;
eprel:isVersionOf ;
eprel:isVolatileVersionOf ;
eprel:ispreviewThumbnailVersionOf ;
rdf:type ep:Document;
rdfs:label "Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь (Other)"^^xsd:string .
dct:hasPart ;
ep:hasFile ;
eprel:isVersionOf ;
eprel:isVolatileVersionOf ;
eprel:ismediumThumbnailVersionOf ;
rdf:type ep:Document;
rdfs:label "Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь (Other)"^^xsd:string .
dct:hasPart ;
ep:hasFile ;
eprel:isVersionOf ;
eprel:isVolatileVersionOf ;
eprel:issmallThumbnailVersionOf ;
rdf:type ep:Document;
rdfs:label "Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь (Other)"^^xsd:string .
rdf:_1 ;
rdf:_2 ;
rdf:_3 .
bibo:abstract "Досліджено характер хімічного розчинення нелегованого та легованого оловом InAs в\r\nрозчинах системи HNO3-HBr-етиленгліколь. Побудовано поверхні рівних швидкостей травлення (діаграми Гіббса), з’ясовано кінетичні закономірності і визначено лімітуючі\r\nстадії процесу розчинення та області поліруючих розчинів. Встановлено вплив легування на характер хімічного травлення арсеніду індію. На основі проведених експериментів\r\nвизначено концентраційні границі розчинів, які можна використовувати для різних хімічних обробок (полірування, селективне травлення) нелегованого та легованого оловом арсеніду індію. "^^xsd:string;
bibo:authorList ;
bibo:issue "4";
bibo:status ,
;
bibo:volume "2";
dct:creator ,
,
;
dct:date "2001";
dct:isPartOf ,
;
dct:subject ;
dct:title "Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь"^^xsd:string;
ep:hasDocument ,
,
,
,
;
rdf:type bibo:AcademicArticle,
bibo:Article,
ep:ArticleEPrint,
ep:EPrint;
rdfs:seeAlso .
rdf:type skos:Concept;
skos:prefLabel "QD Chemistry"@en,
"QD Хімія"@uk .
foaf:familyName "Томашик"^^xsd:string;
foaf:givenName "В. М."^^xsd:string;
foaf:name "В. М. Томашик"^^xsd:string;
rdf:type foaf:Person .
foaf:familyName "Томашик"^^xsd:string;
foaf:givenName "З. Ф."^^xsd:string;
foaf:name "З. Ф. Томашик"^^xsd:string;
rdf:type foaf:Person .
foaf:familyName "Кусяк"^^xsd:string;
foaf:givenName "Н. В."^^xsd:string;
foaf:name "Н. В. Кусяк"^^xsd:string;
rdf:type foaf:Person .
bibo:issn "17294428";
foaf:name "Фізика і хімія твердого тіла"^^xsd:string;
owl:sameAs ;
rdf:type bibo:Collection .