relation: http://eprints.zu.edu.ua/16866/ title: Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота creator: Шелюк, І. О. creator: Томашик, З. Ф. creator: Томашик, В. М. creator: Денисюк, Р. О. creator: Стратійчук, І. Б. subject: QD Chemistry date: 2011 type: Article type: PeerReviewed format: text language: uk identifier: http://eprints.zu.edu.ua/16866/1/Shelyuk.pdf identifier: Шелюк, І. О. and Томашик, З. Ф. and Томашик, В. М. and Денисюк, Р. О. and Стратійчук, І. Б. (2011) Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота. Вопросы химии и химической технологии (1). pp. 110-114. ISSN 0321-4095 language: ukraine