  <eprint id="http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/16866" xmlns="http://eprints.org/ep2/data/2.0">
    <eprintid>16866</eprintid>
    <rev_number>12</rev_number>
    <documents>
      <document id="http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850">
        <docid>66850</docid>
        <rev_number>1</rev_number>
        <files>
          <file id="http://eprints.zu.edu.ua/id/file/322378">
            <fileid>322378</fileid>
            <datasetid>document</datasetid>
            <objectid>66850</objectid>
            <filename>Shelyuk.pdf</filename>
            <mime_type>application/pdf</mime_type>
            <hash>eed26ac36c26a312733a9426f865e1ab</hash>
            <hash_type>MD5</hash_type>
            <filesize>283712</filesize>
            <mtime>2015-04-09 21:10:28</mtime>
            <url>http://eprints.zu.edu.ua/16866/1/Shelyuk.pdf</url>
          </file>
        </files>
        <eprintid>16866</eprintid>
        <pos>1</pos>
        <placement>1</placement>
        <mime_type>application/pdf</mime_type>
        <format>text</format>
        <language>uk</language>
        <security>public</security>
        <main>Shelyuk.pdf</main>
      </document>
      <document id="http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66851">
        <docid>66851</docid>
        <rev_number>2</rev_number>
        <files>
          <file id="http://eprints.zu.edu.ua/id/file/322389">
            <fileid>322389</fileid>
            <datasetid>document</datasetid>
            <objectid>66851</objectid>
            <filename>lightbox.jpg</filename>
            <mime_type>image/png</mime_type>
            <hash>37f20b4f29a8aa2fabf6655c81871047</hash>
            <hash_type>MD5</hash_type>
            <filesize>43255</filesize>
            <mtime>2015-04-09 21:20:39</mtime>
            <url>http://eprints.zu.edu.ua/16866/2/lightbox.jpg</url>
          </file>
        </files>
        <eprintid>16866</eprintid>
        <pos>2</pos>
        <placement>2</placement>
        <mime_type>image/png</mime_type>
        <format>other</format>
        <formatdesc>Thumbnails conversion from text to thumbnail_lightbox</formatdesc>
        <language>en</language>
        <security>public</security>
        <main>lightbox.jpg</main>
        <relation>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVolatileVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/islightboxThumbnailVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
        </relation>
      </document>
      <document id="http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66852">
        <docid>66852</docid>
        <rev_number>2</rev_number>
        <files>
          <file id="http://eprints.zu.edu.ua/id/file/322390">
            <fileid>322390</fileid>
            <datasetid>document</datasetid>
            <objectid>66852</objectid>
            <filename>preview.jpg</filename>
            <mime_type>image/png</mime_type>
            <hash>7ec8aa23c0ca6013a1428be5156ff7d6</hash>
            <hash_type>MD5</hash_type>
            <filesize>17246</filesize>
            <mtime>2015-04-09 21:20:40</mtime>
            <url>http://eprints.zu.edu.ua/16866/3/preview.jpg</url>
          </file>
        </files>
        <eprintid>16866</eprintid>
        <pos>3</pos>
        <placement>3</placement>
        <mime_type>image/png</mime_type>
        <format>other</format>
        <formatdesc>Thumbnails conversion from text to thumbnail_preview</formatdesc>
        <language>en</language>
        <security>public</security>
        <main>preview.jpg</main>
        <relation>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVolatileVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/ispreviewThumbnailVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
        </relation>
      </document>
      <document id="http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66853">
        <docid>66853</docid>
        <rev_number>2</rev_number>
        <files>
          <file id="http://eprints.zu.edu.ua/id/file/322391">
            <fileid>322391</fileid>
            <datasetid>document</datasetid>
            <objectid>66853</objectid>
            <filename>medium.jpg</filename>
            <mime_type>image/png</mime_type>
            <hash>45324a7b1c9782365a6ae123aa92f6d1</hash>
            <hash_type>MD5</hash_type>
            <filesize>5690</filesize>
            <mtime>2015-04-09 21:20:41</mtime>
            <url>http://eprints.zu.edu.ua/16866/4/medium.jpg</url>
          </file>
        </files>
        <eprintid>16866</eprintid>
        <pos>4</pos>
        <placement>4</placement>
        <mime_type>image/png</mime_type>
        <format>other</format>
        <formatdesc>Thumbnails conversion from text to thumbnail_medium</formatdesc>
        <language>en</language>
        <security>public</security>
        <main>medium.jpg</main>
        <relation>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVolatileVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/ismediumThumbnailVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
        </relation>
      </document>
      <document id="http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66854">
        <docid>66854</docid>
        <rev_number>2</rev_number>
        <files>
          <file id="http://eprints.zu.edu.ua/id/file/322392">
            <fileid>322392</fileid>
            <datasetid>document</datasetid>
            <objectid>66854</objectid>
            <filename>small.jpg</filename>
            <mime_type>image/png</mime_type>
            <hash>01bff3850f570e61260461ec500ae59d</hash>
            <hash_type>MD5</hash_type>
            <filesize>1653</filesize>
            <mtime>2015-04-09 21:20:42</mtime>
            <url>http://eprints.zu.edu.ua/16866/5/small.jpg</url>
          </file>
        </files>
        <eprintid>16866</eprintid>
        <pos>5</pos>
        <placement>5</placement>
        <mime_type>image/png</mime_type>
        <format>other</format>
        <formatdesc>Thumbnails conversion from text to thumbnail_small</formatdesc>
        <language>en</language>
        <security>public</security>
        <main>small.jpg</main>
        <relation>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/isVolatileVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
          <item>
            <type>http://eprints.org/relation/issmallThumbnailVersionOf</type>
            <uri>http://eprints.zu.edu.ua/id/document/66850</uri>
          </item>
        </relation>
      </document>
    </documents>
    <eprint_status>archive</eprint_status>
    <userid>65</userid>
    <dir>disk0/00/01/68/66</dir>
    <datestamp>2015-04-09 21:16:15</datestamp>
    <lastmod>2015-04-09 21:20:42</lastmod>
    <status_changed>2015-04-09 21:16:15</status_changed>
    <type>article</type>
    <metadata_visibility>show</metadata_visibility>
    <title>Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота</title>
    <language>ukraine</language>
    <creators>
      <item>
        <name>
          <family>Шелюк</family>
          <given>І. О.</given>
        </name>
      </item>
      <item>
        <name>
          <family>Томашик</family>
          <given>З. Ф.</given>
        </name>
      </item>
      <item>
        <name>
          <family>Томашик</family>
          <given>В. М.</given>
        </name>
      </item>
      <item>
        <name>
          <family>Денисюк</family>
          <given>Р. О.</given>
        </name>
        <id>denisuk@zu.edu.ua</id>
      </item>
      <item>
        <name>
          <family>Стратійчук</family>
          <given>І. Б.</given>
        </name>
      </item>
    </creators>
    <ispublished>pub</ispublished>
    <subjects>
      <item>QD</item>
    </subjects>
    <divisions>
      <item>sch_che</item>
    </divisions>
    <full_text_status>public</full_text_status>
    <date>2011</date>
    <date_type>published</date_type>
    <publication>Вопросы химии и химической технологии</publication>
    <number>1</number>
    <pagerange>110-114</pagerange>
    <refereed>TRUE</refereed>
    <issn>0321-4095</issn>
  </eprint>
