eprintid: 16866
rev_number: 12
eprint_status: archive
userid: 65
dir: disk0/00/01/68/66
datestamp: 2015-04-09 21:16:15
lastmod: 2015-04-09 21:20:42
status_changed: 2015-04-09 21:16:15
type: article
metadata_visibility: show
title: Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота
language: ukraine
creators_name: Шелюк, І. О.
creators_name: Томашик, З. Ф.
creators_name: Томашик, В. М.
creators_name: Денисюк, Р. О.
creators_name: Стратійчук, І. Б.
creators_id: denisuk@zu.edu.ua
ispublished: pub
subjects: QD
divisions: sch_che
full_text_status: public
date: 2011
date_type: published
publication: Вопросы химии и химической технологии
number: 1
pagerange: 110-114
refereed: TRUE
issn: 0321-4095
citation:   Шелюк, І. О. and Томашик, З. Ф. and Томашик, В. М. and Денисюк, Р. О. and Стратійчук, І. Б.  (2011) Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота.  Вопросы химии и химической технологии (1).  pp. 110-114.  ISSN 0321-4095     
document_url: http://eprints.zu.edu.ua/16866/1/Shelyuk.pdf