Влияние концентрации пероксида водорода на травление монокристаллов Cd1-xMnxTe растворами Н2О2 – НІ

8601 27 29465 1 191487 document 29465 CdMnTe_H2O2-HI-tartrat_ФХТП_2009_15.pdf application/pdf 792a77e8aa337f6677db74425413b870 MD5 479953 2012-12-07 19:46:36 http://eprints.zu.edu.ua/8601/1/CdMnTe_H2O2-HI-tartrat_%D0%A4%D0%A5%D0%A2%D0%9F_2009_15.pdf 8601 1 1 application/pdf text uk public

CdMnTe_H2O2-HI-tartrat_ФХТП_2009_15.pdf

100963 2 380063 document 100963 lightbox.jpg image/png 9cfef8204fe66e3f929dc80b753d9c6f MD5 36207 2015-08-15 02:43:54 http://eprints.zu.edu.ua/8601/2/lightbox.jpg 8601 2 2 image/png other Thumbnails conversion from text to thumbnail_lightbox en public

lightbox.jpg

preview.jpg

medium.jpg

small.jpg

http://eprints.org/relation/isVersionOf http://eprints.zu.edu.ua/id/document/29465 http://eprints.org/relation/isVolatileVersionOf http://eprints.zu.edu.ua/id/document/29465 http://eprints.org/relation/issmallThumbnailVersionOf http://eprints.zu.edu.ua/id/document/29465 archive 2592 disk0/00/00/86/01 2012-12-10 05:39:28 2015-09-03 11:52:45 2012-12-10 05:39:28 article show Влияние концентрации пероксида водорода на травление монокристаллов Cd1-xMnxTe растворами Н2О2 – НІ – винная кислота russian Исследованы процессы химического травления монокристаллов CdTe и твердых растворов Cd1-xMnxTe (0,3<х <0,5) йодвыделяющими травильными композициями H2O2-HI-винная кислота с использованием исходного Н2О2 разных концентраций. Построены концентрационные и кинетические зависимости скоростей травления и показано, что с увеличением содержания марганца в составе твердых растворов скорости их травления возрастают, и улучшается качество обрабатываемой поверх- ности. Оптимизированы составы травителей и режимы химико-динамического полирования поверхности монокристаллов Cd1-xMnxTe. final author 2009-07-17 Томашик З. Ф. Денисюк Р. О. Томашик В. М. Чернюк А. С. Гриців В. І. Трищук Л. И. pub QD sch_che public 978-966-00-08228 2009 published Химия, физика и технология поверхности 15 Институт химии поверхности им. А. А. Чуйко НАН Украины 43-50 TRUE 1. Томашик В.Н., Томашик З.Ф. Полирующее травление полупроводниковых соедине- ний типа AIIB VI // Неорган, материалы. - 1997. - Т. 33. № 12. - С. 1451 - 1455. 2. Перевощиков В.А. Процессы химико-динамического полирования поверхности полупроводников // Высокочистые вещества. - 1995. - № 2. - С. 5 - 29. 3. Стан поверхні телуриду кадмію після різних способів обробки / Я.Д. Захарук, I.M. Раренко, О.М. Крилюк, С.Г. Дремлюженко, Ю.П. Стецько // Укр. хім. журн. - 2000. - Т. 66. № 12. - С. 31 - 34. 4. Дослідження поверхш i границі розділу структур, сформованих на Cd1-xZnxTe i Cd1-xMnxTe лазерною проплавкою / О.В. Галочкш, С.Г. Дремлюженко, Я.Д. Захарук. АЛ. Раренко, Є.В. Рибак, В.М. Стребежев // Фізика i хімія твердого тіла - 2003. - Т. 54. № 6. - С. 945 - 949. 5. Томашик З.Ф., Гуменюк О.Р,, Томашик В.Н. Химическое травление теллурида кад- мия и твердых растворов на его основе в йодметанолъных травильных композициях // Конденсир. среды и межфаз. границы. - 2002. - Г. 4. № 2. -С . 159-161. 6. Особенности растворения CdTe и твердых растворов ZnxCd1-xTe и CdxHg1-xTe в травильных смесях системы І2 -диметилформамид / О.Р. Гуменюк, З.Ф Томашик, В.Н. Томашик, П.И. Фейчук // Журн. неорган, химии. - 2004. - Т. 49. № Ю. - С. 1750-1754. 7. Химическое травление монокристаллов Cd1_xMnxTe растворами иода в метаноле / З.Ф. Томашик, Р.А. Денисюк, В.Н. Томашик, А.С. Чернюк, И.М. Раренко // Журн. неорган, химии - 2009. -Т. 54, № 6. - С. 945 - 949. 8. Хімічна взаємодія монокристалів Cd1-xMnxTe з розчинами йоду в диметилформаміді / З.Ф. Томашик, P.O. Денисюк, В.М. Томашик, О.С. Чернюк, I.I. Гнатів. I.M. Раренко // Вопросы химии и химической технологии, - 2008. - № 5. - С. 104 - 107. 9. Гуменюк О.Р., Томашик В.Н., Томашик З.Ф. Химическое травление CdTe и твердых растворов на его основе в растворах системы H2O2 -HI // Оптоэлектроника и полу- проводниковая техника. - 2002. - Вып. 37. - С. 147 - 149. 10. Химическое травление твердых растворов CdxHg1-xTe в иодвьщеляющих растворах на основе системы H2O2 -HI / З.Ф. Томашик, О.Р. Гуменюк, В.Н. Томашик, Ф.Ф. Си- зов//Прикл. физика. -2005.-№ 1.-С. 106-109. 11. Хіміко-динамічне полірування монокристалів CdTe та Cd1-xZnxTe травниками Н2О2 - НІ-оксалатна кислота / З.Ф. Томашик, Г.М. Окрепка, В.М. Томашик, О.Р. Гуменюк // Вопросы химии и хим. технологии. - 2007. - № 6. - С 55 - 58. 12. Tomashik Z.F., Gumenyuk O.R., Tomashik V.N. Chemical etching of CdTe and CdxHg1-xТe in H2O2 -HJ-tartaric acid solutions // Proc. SPIE. - 2003. - V. 5065. - P. 241 - 245.