eprintid: 8601
rev_number: 27
eprint_status: archive
userid: 2592
dir: disk0/00/00/86/01
datestamp: 2012-12-10 05:39:28
lastmod: 2015-09-03 11:52:45
status_changed: 2012-12-10 05:39:28
type: article
metadata_visibility: show
title: Влияние концентрации пероксида водорода на травление монокристаллов Cd1-xMnxTe растворами Н2О2 – НІ – винная кислота
language: russian
abstract: Исследованы процессы химического травления монокристаллов CdTe и твердых растворов Cd1-xMnxTe (0,3<х <0,5) йодвыделяющими травильными композициями H2O2-HI-винная кислота с использованием исходного Н2О2 разных концентраций.
Построены концентрационные и кинетические зависимости скоростей травления и
показано, что с увеличением содержания марганца в составе твердых растворов
скорости их травления возрастают, и улучшается качество обрабатываемой поверх-
ности. Оптимизированы составы травителей и режимы химико-динамического
полирования поверхности монокристаллов Cd1-xMnxTe.
status: final
role: author
datecontr: 2009-07-17
creators_name: Томашик, З. Ф.
creators_name: Денисюк, Р. О.
creators_name: Томашик, В. М.
creators_name: Чернюк, А. С.
creators_name: Гриців, В. І.
creators_name: Трищук, Л. И.
ispublished: pub
subjects: QD
divisions: sch_che
full_text_status: public
note: 978-966-00-08228
date: 2009
date_type: published
publication: Химия, физика и технология поверхности
volume: 15
publisher: Институт химии поверхности им. А. А. Чуйко НАН Украины
pagerange: 43-50
refereed: TRUE
referencetext: 1. Томашик В.Н., Томашик З.Ф. Полирующее травление полупроводниковых соедине-
ний типа AIIB
VI
 // Неорган, материалы. - 1997. - Т. 33. № 12. - С. 1451 - 1455.
2. Перевощиков В.А. Процессы химико-динамического полирования поверхности
полупроводников // Высокочистые вещества. - 1995. - № 2. - С. 5 - 29.
3. Стан поверхні телуриду кадмію після різних способів обробки / Я.Д. Захарук,
I.M. Раренко, О.М. Крилюк, С.Г. Дремлюженко, Ю.П. Стецько // Укр. хім. журн. -
2000. - Т. 66. № 12. - С. 31 - 34.
4. Дослідження поверхш i границі розділу структур, сформованих на Cd1-xZnxTe i
Cd1-xMnxTe лазерною проплавкою / О.В. Галочкш, С.Г. Дремлюженко, Я.Д. Захарук.
АЛ. Раренко, Є.В. Рибак, В.М. Стребежев // Фізика i хімія твердого тіла - 2003. -
Т. 54. № 6. - С. 945 - 949.
5. Томашик З.Ф., Гуменюк О.Р,, Томашик В.Н. Химическое травление теллурида кад-
мия и твердых растворов на его основе в йодметанолъных травильных композициях
// Конденсир. среды и межфаз. границы. - 2002. - Г. 4. № 2. -С . 159-161.
6. Особенности растворения CdTe и твердых растворов ZnxCd1-xTe и CdxHg1-xTe в
травильных смесях системы І2
-диметилформамид / О.Р. Гуменюк, З.Ф Томашик,
В.Н. Томашик, П.И. Фейчук // Журн. неорган, химии. - 2004. - Т. 49. № Ю. -
С. 1750-1754.
7. Химическое травление монокристаллов Cd1_xMnxTe растворами иода в метаноле /
З.Ф. Томашик, Р.А. Денисюк, В.Н. Томашик, А.С. Чернюк, И.М. Раренко // Журн. неорган,
химии - 2009. -Т. 54, № 6. - С. 945 - 949.
8. Хімічна взаємодія монокристалів Cd1-xMnxTe з розчинами йоду в диметилформаміді
/ З.Ф. Томашик, P.O. Денисюк, В.М. Томашик, О.С. Чернюк, I.I. Гнатів. I.M. Раренко
// Вопросы химии и химической технологии, - 2008. - № 5. - С. 104 - 107.
9. Гуменюк О.Р., Томашик В.Н., Томашик З.Ф. Химическое травление CdTe и твердых
растворов на его основе в растворах системы H2O2
-HI // Оптоэлектроника и полу-
проводниковая техника. - 2002. - Вып. 37. - С. 147 - 149.
10. Химическое травление твердых растворов CdxHg1-xTe в иодвьщеляющих растворах
на основе системы H2O2
-HI / З.Ф. Томашик, О.Р. Гуменюк, В.Н. Томашик, Ф.Ф. Си-
зов//Прикл. физика. -2005.-№ 1.-С. 106-109.
11. Хіміко-динамічне полірування монокристалів CdTe та Cd1-xZnxTe травниками Н2О2 - НІ-оксалатна кислота / З.Ф. Томашик, Г.М. Окрепка, В.М. Томашик, О.Р. Гуменюк
// Вопросы химии и хим. технологии. - 2007. - № 6. - С 55 - 58.
12. Tomashik Z.F., Gumenyuk O.R., Tomashik V.N. Chemical etching of CdTe and CdxHg1-xТe in H2O2 -HJ-tartaric acid solutions // Proc. SPIE. - 2003. - V. 5065. - P. 241 -
245.
citation:   Томашик, З. Ф. and Денисюк, Р. О. and Томашик, В. М. and Чернюк, А. С. and Гриців, В. І. and Трищук, Л. И.  (2009) Влияние концентрации пероксида водорода на травление монокристаллов Cd1-xMnxTe растворами Н2О2 – НІ – винная кислота.  Химия, физика и технология поверхности, 15.  pp. 43-50.      
document_url: http://eprints.zu.edu.ua/8601/1/CdMnTe_H2O2-HI-tartrat_%D0%A4%D0%A5%D0%A2%D0%9F_2009_15.pdf