"8658","12","archive","2592",,,"disk0/00/00/86/58","2012-12-07 11:42:00","2015-08-15 02:43:40","2012-12-07 11:42:00","article",,,"show",,,,"","","","","","","","","","",,,,"Хімічна взаємодія монокристалів GаАs, GаSb, InAs та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr","ukraine","Досліджено хімічну взаємодію монокристалів GаАs, GаSb, InAs, InAs (Sn) та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr. Встановлено залежність швидкості їх розчинення від складу травників, перемішування, температури та визначено лімітуючі стадії процесу розчинення. Оптимізовано склади поліруючих травників і режими хіміко-динамічного полірування поверхні вказаних напівпровідникових матеріалів.","Напівпровідник, монокристал, легування, поверхня, травник, швидкість травлення, хімічне полірування.",,"final","author",,,"","","","",,,,,,,"Шелюк","І. О.","","","","","pub","QD","sch_che","public",,,,,"2011-03-15","published",,"ФІЗИКА І ХІМІЯ ТВЕРДОГО ТІЛА","12","2","Прикарпатський національний університет ім. Василя Стефаника",,"411-415",,,,,,,,,,,"TRUE",,"1729-4428",,,,,,"",,"","",,"","",,,,,,"",,,,,,,"",,,,,"",,,,,"","",,,,,"","",
"8658",,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,"Томашик","З. Ф.","","",,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,
"8658",,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,"Томашик","В. М.","","",,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,
"8658",,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,"Стратійчук","І. Б.","","",,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,
"8658",,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,"Денисюк","Р. О.","","",,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,