http://eprints.zu.edu.ua/8658/ Хімічна взаємодія монокристалів GаАs, GаSb, InAs та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr Шелюк, І. О. Томашик, З. Ф. Томашик, В. М. Стратійчук, І. Б. Денисюк, Р. О. QD Chemistry Досліджено хімічну взаємодію монокристалів GаАs, GаSb, InAs, InAs (Sn) та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr. Встановлено залежність швидкості їх розчинення від складу травників, перемішування, температури та визначено лімітуючі стадії процесу розчинення. Оптимізовано склади поліруючих травників і режими хіміко-динамічного полірування поверхні вказаних напівпровідникових матеріалів. Прикарпатський національний університет ім. Василя Стефаника 2011-03-15 Article PeerReviewed text uk http://eprints.zu.edu.ua/8658/1/C_10_Shelyuk_Tomashyk_G%5B1%5D.pdf Шелюк, І. О. and Томашик, З. Ф. and Томашик, В. М. and Стратійчук, І. Б. and Денисюк, Р. О. (2011) Хімічна взаємодія монокристалів GаАs, GаSb, InAs та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr. ФІЗИКА І ХІМІЯ ТВЕРДОГО ТІЛА, 12 (2). pp. 411-415. ISSN 1729-4428 ukraine