<> "The repository administrator has not yet configured an RDF license."^^ . <> . . . "Влияние термо- и микроволновой обработок на свойства омических контактов к n-n+-n++-InP(GaAs, GaN)"^^ . "Исследовано влияние быстрой термической обработки и микроволновой обработки на межфазные взаимо-\r\nдействия и удельное контактное сопротивление в омических контактах к InP (GaAs, GaN) с использованием бо-\r\nридов тугоплавких металлов в качестве диффузионных барьеров. Во всех трех типах образцов буферные свойст-\r\nва слоя TiBx, являющегося аморфным оксиборидом титана, сохраняются при температурах, в 2,4 раза превы-\r\nшающих рабочие для GaAs, в 3 раза – для InP и в 2,3 раза – для GaN (при рабочей температуре прибора 300 °С).\r\nМикроволновая обработка контактных структур к n-GaN привела к упорядочению слоевой структуры контакт-\r\nной металлизации и уменьшению разброса величины ρс."^^ . "2011" . . "1-2" . . "Томский государственный университет"^^ . . . "Известия вузов. Физика"^^ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . "А. Е."^^ . "Беляев"^^ . "А. Е. Беляев"^^ . . "В. Н."^^ . "Иванов"^^ . "В. Н. Иванов"^^ . . "Р. В."^^ . "Конакова"^^ . "Р. В. Конакова"^^ . . "С. В."^^ . "Новицкий"^^ . "С. В. Новицкий"^^ . . "В. В."^^ . "Миленин"^^ . "В. В. Миленин"^^ . . "Н. С."^^ . "Болтовец"^^ . "Н. С. Болтовец"^^ . . "Я. Я."^^ . "Кудрик"^^ . "Я. Я. Кудрик"^^ . . "В. Н."^^ . "Шеремет"^^ . "В. Н. Шеремет"^^ . . . . . . "Влияние термо- и микроволновой обработок на свойства омических контактов к n-n+-n++-InP(GaAs, GaN) (Text)"^^ . . . "14.pdf"^^ . . . "Влияние термо- и микроволновой обработок на свойства омических контактов к n-n+-n++-InP(GaAs, GaN) (Інший)"^^ . . . . . . "lightbox.jpg"^^ . . . "Влияние термо- и микроволновой обработок на свойства омических контактов к n-n+-n++-InP(GaAs, GaN) (Інший)"^^ . . . . . . "preview.jpg"^^ . . . "Влияние термо- и микроволновой обработок на свойства омических контактов к n-n+-n++-InP(GaAs, GaN) (Інший)"^^ . . . . . . "medium.jpg"^^ . . . "Влияние термо- и микроволновой обработок на свойства омических контактов к n-n+-n++-InP(GaAs, GaN) (Інший)"^^ . . . . . . "small.jpg"^^ . . "HTML Summary of #10519 \n\nВлияние термо- и микроволновой обработок на свойства омических контактов к n-n+-n++-InP(GaAs, GaN)\n\n" . "text/html" . . . "QC Physics"@en . "QC Фізика"@uk . . . "TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering"@en . "TK Радіотехніка. Атомна енергетика"@uk . .