TY - JOUR ID - zu210519 UR - http://eprints.zu.edu.ua/10519/ IS - 1-2 A1 - ??????, ?. ?. A1 - ????????, ?. ?. A1 - ??????, ?. ?. A1 - ????????, ?. ?. A1 - ??????, ?. ?. A1 - ???????, ?. ?. A1 - ????????, ?. ?. A1 - ???????, ?. ?. Y1 - 2011/// N2 - ??????????? ??????? ??????? ??????????? ????????? ? ????????????? ????????? ?? ????????? ??????- ???????? ? ???????? ?????????? ????????????? ? ????????? ????????? ? InP (GaAs, GaN) ? ?????????????? ??- ????? ??????????? ???????? ? ???????? ???????????? ????????. ?? ???? ???? ????? ???????? ???????? ??????- ?? ???? TiBx, ??????????? ???????? ??????????? ??????, ??????????? ??? ????????????, ? 2,4 ???? ?????- ?????? ??????? ??? GaAs, ? 3 ???? ? ??? InP ? ? 2,3 ???? ? ??? GaN (??? ??????? ??????????? ??????? 300 °?). ????????????? ????????? ?????????? ???????? ? n-GaN ??????? ? ???????????? ??????? ????????? ???????- ??? ???????????? ? ?????????? ???????? ???????? ??. PB - ??????? ??????????????? ??????????? JF - ???????? ?????. ?????? TI - ??????? ?????- ? ????????????? ????????? ?? ???????? ????????? ????????? ? n-n+-n++-InP(GaAs, GaN) SP - 74 AV - public EP - 77 ER -