relation: http://eprints.zu.edu.ua/10534/
title: Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
creator: Ткаченко, А. К.
creator: Новицкий, С. В.
creator: Шеремет, В. Н.
subject: QC Фізика
subject: TK Радіотехніка. Атомна енергетика
description: В статье идет речь об влиянии быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
publisher: Мордовский государственный педагогический институт им. М. Е. Евсевьева
date: 2012-05
type: Стаття
type: PeerReviewed
format: text
language: uk
identifier: http://eprints.zu.edu.ua/10534/1/%D0%9D%D0%BE%D0%B2%D0%B8%D1%86%D0%BA%D0%B8%D0%B9.pdf
identifier:   Ткаченко, А. К., Новицкий, С. В., Шеремет, В. Н.  (2012) Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs.  Материалы конференции. [Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики»], (Саранск, Россия, 28—30 мая, 2012 г.), 1.  с. 68-72.      
language: russian