%0 Journal Article
%A Ткаченко, А. К.
%A Новицкий, С. В.
%A Шеремет, В. Н.
%D 2012
%F zu2:10534
%I Мордовский государственный педагогический институт им. М. Е. Евсевьева
%J Материалы конференции. [Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики»], (Саранск, Россия, 28—30 мая, 2012 г.)
%P 68-72
%T Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
%U http://eprints.zu.edu.ua/10534/
%V 1
%X В статье идет речь об влиянии быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs