eprintid: 10534
rev_number: 25
eprint_status: archive
userid: 11
dir: disk0/00/01/05/34
datestamp: 2014-02-04 10:32:50
lastmod: 2015-08-15 05:40:21
status_changed: 2014-02-04 10:32:50
type: article
metadata_visibility: show
title: Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
language: russian
abstract: В статье идет речь об влиянии быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
creators_name: Ткаченко, А. К.
creators_name: Новицкий, С. В.
creators_name: Шеремет, В. Н.
ispublished: pub
subjects: QC
subjects: TK
divisions: sch_phy
full_text_status: public
date: 2012-05
date_type: published
publication: Материалы конференции. [Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики»], (Саранск, Россия, 28—30 мая, 2012 г.)
volume: 1
publisher: Мордовский государственный педагогический институт им. М. Е. Евсевьева
pagerange: 68-72
refereed: TRUE
citation:   Ткаченко, А. К., Новицкий, С. В., Шеремет, В. Н.  (2012) Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs.  Материалы конференции. [Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики»], (Саранск, Россия, 28—30 мая, 2012 г.), 1.  с. 68-72.      
document_url: http://eprints.zu.edu.ua/10534/1/%D0%9D%D0%BE%D0%B2%D0%B8%D1%86%D0%BA%D0%B8%D0%B9.pdf