eprintid: 10536 rev_number: 29 eprint_status: archive userid: 11 dir: disk0/00/01/05/36 datestamp: 2014-02-03 07:03:55 lastmod: 2015-08-15 05:40:00 status_changed: 2014-02-03 07:03:55 type: article metadata_visibility: show title: Влияние микроволнового излучения на механизм токопереноса в омических контактах к соединениям А3В5 language: russian abstract: Исследовано влияние микроволновой обработки частотой 2,4 и 24 ГГц на параметры омических контактов к GaAs и InP. До и после микроволновой обработки измерены зависимости удельного контактного сопротивле- ния от температуры, которые описаны моделью омического контакта с высокой плотностью дислокаций в при- контактной области полупроводника с учетом диффузионного подвода электронов и сопротивления шунтов. Микроволновая обработка приводит к увеличению плотности проводящих дислокаций (в ~1,5 раза), что приво- дит к уменьшению удельного контактного сопротивления. creators_name: Саченко, А. В. creators_name: Беляев, А. Е. creators_name: Болтовец, Н. С. creators_name: Конакова, Р. В. creators_name: Кудрик, Я. Я. creators_name: Новицкий, С. В. creators_name: Шеремет, В. Н. creators_name: Быков, Ю. В. creators_name: Егоров, Ю. В. creators_name: Еремеев, А. Г. ispublished: pub subjects: QC subjects: TK divisions: sch_phy full_text_status: public date: 2012-10 date_type: published publication: Труды конфиренции. [VIII Международ. науч. конф. «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах»], (Томск, Россия, 2012, 14—26 октября) publisher: Томск: Изд. ТПУ pagerange: 333-336 refereed: TRUE official_url: http://portal.tpu.ru/science/konf/rtep citation: Саченко, А. В., Беляев, А. Е., Болтовец, Н. С., Конакова, Р. В., Кудрик, Я. Я., Новицкий, С. В., Шеремет, В. Н., Быков, Ю. В., Егоров, Ю. В., Еремеев, А. Г. (2012) Влияние микроволнового излучения на механизм токопереноса в омических контактах к соединениям А3В5. Труды конфиренции. [VIII Международ. науч. конф. «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах»], (Томск, Россия, 2012, 14—26 октября). с. 333-336. document_url: http://eprints.zu.edu.ua/10536/1/333-336_Konakova.pdf