relation: http://eprints.zu.edu.ua/11036/ title: Патент 83664 Україна, МПК Н01L 21/268. Спосіб створення омічного контакту до InP та GaAs creator: Бєляєв, О. Є. creator: Бобиль, О. В. creator: Іванов, В. М. creator: Конакова, Р. В. creator: Кудрик, Я. Я. creator: Новицкий, С. В. creator: Саченко, А. В. subject: QC Фізика subject: TK Радіотехніка. Атомна енергетика date: 2013-09-25 type: Патент type: NonPeerReviewed format: text language: uk identifier: http://eprints.zu.edu.ua/11036/1/%D0%9E%D0%B1%D1%8A%D0%B5%D0%B4%D0%B8%D0%BD%D1%91%D0%BD%D0%BD%D1%8B%D0%B9_%D0%B4%D0%BE%D0%BA%D1%83%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D1%82.pdf identifier: ІФН ім. В.Є. Лашкарьова НАНУ (2013) Патент 83664 Україна, МПК Н01L 21/268. Спосіб створення омічного контакту до InP та GaAs. u 2013 03026. relation: u 2013 03026 language: ukraine