%0 Patent
%@ u 2013 03026
%A Бєляєв, О. Є.
%A Бобиль, О. В.
%A Іванов, В. М.
%A Конакова, Р. В.
%A Кудрик, Я. Я.
%A Новицкий, С. В.
%A Саченко, А. В.
%D 2013
%F zu2:11036
%T Патент 83664 Україна, МПК Н01L 21/268. Спосіб створення омічного контакту до InP та GaAs
%U http://eprints.zu.edu.ua/11036/