<> "The repository administrator has not yet configured an RDF license."^^ . <> . . . "Токоперенос по металлическим шунтам в омических контактах к n+-Si"^^ . "Экспериментально установлено, что в процессе термообработки при Т=450°С в течение 10 минут в вакууме ~10-6 Торр омический контакт на основе металлизации Au-Pt-Ti-Pd-n+-Si формируется за счет возникновения в области границы раздела с n+Si наноразмерных металлических шунтов, элементный состав которых состоит из Si, Au и Pt. Высокая плотность шунтов, сопряженных с дислокациями и другими несовершенствами подтверждается температурной зависимостью удельного контактного сопротивления ρс(Т). Плотность проводящих дислокаций, рассчитанная из температурной зависимости ρс составляет ~5∙109 см-2 и коррелирует с плотностью структурных дефектов, определенных по ямкам травления после удаления слоев металлизации."^^ . "2014" . . "48" . "4" . . "Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН"^^ . . . "Физика и техника полупроводников"^^ . . . "00153222" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . "Я. Я."^^ . "Кудрик"^^ . "Я. Я. Кудрик"^^ . . "В. Н."^^ . "Шеремет"^^ . "В. Н. Шеремет"^^ . . "Н. С."^^ . "Болтовец"^^ . "Н. С. Болтовец"^^ . . "В. А."^^ . "Анищик"^^ . "В. А. Анищик"^^ . . "В. А."^^ . "Пилипенко"^^ . "В. А. Пилипенко"^^ . . "А. Е."^^ . "Беляев"^^ . "А. Е. Беляев"^^ . . "А. О."^^ . "Виноградов"^^ . "А. О. Виноградов"^^ . . "Т. В."^^ . "Петлицкая"^^ . "Т. В. Петлицкая"^^ . . "Р. В."^^ . "Конакова"^^ . "Р. В. Конакова"^^ . . "А. В."^^ . "Саченко"^^ . "А. В. Саченко"^^ . . . . . . "Токоперенос по металлическим шунтам в омических контактах к n+-Si (Text)"^^ . . . "p509-513.pdf"^^ . . . "Токоперенос по металлическим шунтам в омических контактах к n+-Si (Інший)"^^ . . . . . . "lightbox.jpg"^^ . . . "Токоперенос по металлическим шунтам в омических контактах к n+-Si (Інший)"^^ . . . . . . "preview.jpg"^^ . . . "Токоперенос по металлическим шунтам в омических контактах к n+-Si (Інший)"^^ . . . . . . "medium.jpg"^^ . . . "Токоперенос по металлическим шунтам в омических контактах к n+-Si (Інший)"^^ . . . . . . "small.jpg"^^ . . "HTML Summary of #14146 \n\nТокоперенос по металлическим шунтам в омических контактах к n+-Si\n\n" . "text/html" . . . "QC Physics"@en . "QC Фізика"@uk . .