%0 Journal Article %@ 1729-4428 %A Денисюк, Р. О. %D 2014 %F zu2:16813 %J Фізика і хімія твердого тіла %N 1 %P 214-218 %T Хіміко-механічне полірування Cd1-xMnxTe розчинами на основі Н2О2—HI—цитратна кислота %U http://eprints.zu.edu.ua/16813/ %V 15 %X Досліджено процес хіміко-механічного полірування (ХМП) монокристалів CdTe та Cd1-xMnxTe (0,3< х <0,5) травниками системи НІ – Н2О2 – цитратна кислота. Визначено вплив природи в’язкого компоненту на швидкість і якість полірованої поверхні монокристалів. Розроблено режими ХМП для CdTe та твердих розчинів на його основі. Профілографічними та мікроструктурними аналізами досліджено стан полірованої поверхні та визначена її шорсткість.