%0 Journal Article
%@ 1729-4428
%A Томашик, В. М.
%A Чернюк, О. С.
%A Гриців, В. І.
%A Томашик, З. Ф.
%A Кусяк, Н. В.
%D 2003
%F zu2:16859
%J Фізика і хімія твердого тіла
%N 3
%P 543-546
%T Розчинення GaSb у розчинах системи H2O2–HCl–CH3COOH
%U http://eprints.zu.edu.ua/16859/
%V 4
%X Побудовано поверхню рівних швидкостей розчинення (діаграма Гібса) і вивчений механізм хімічної взаємодії GaSb з розчинами системи H2O2-HCl-CH3COOH. Показано, що основним окисним агентом є хлор і, можливо, хлорвмісні сполуки, що утворюються при взаємодії компонентів травильної композиції.  Встановлено, що процес розчинення GaSb у зазначених розчинах визначається переходом у розчин сполук стибію, причому одночасно протікає як хімічне окисно−відновне, так і електрохімічне розчинення. Розчини  системи H2O2-HCl-CH3COOH можуть бути основою для розробки поліруючих травильних композицій з невеликою швидкістю розчинення GaSb.