%0 Journal Article
%@ 1729-4428
%A Томашик, В. М.
%A Томашик, З. Ф.
%A Кусяк, Н. В.
%D 2001
%F zu2:16860
%J Фізика і хімія твердого тіла
%N 4
%P 631-636
%T Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь
%U http://eprints.zu.edu.ua/16860/
%V 2
%X Досліджено характер хімічного розчинення нелегованого та легованого оловом InAs в  розчинах системи HNO3-HBr-етиленгліколь. Побудовано поверхні рівних швидкостей травлення (діаграми Гіббса), з’ясовано кінетичні закономірності і визначено лімітуючі  стадії процесу розчинення та області поліруючих розчинів. Встановлено вплив легування на характер хімічного травлення арсеніду індію. На основі проведених експериментів  визначено концентраційні границі розчинів, які можна використовувати для різних хімічних обробок (полірування, селективне травлення) нелегованого та легованого оловом арсеніду індію.