eprintid: 16860
rev_number: 11
eprint_status: archive
userid: 65
dir: disk0/00/01/68/60
datestamp: 2015-04-09 13:59:43
lastmod: 2015-04-09 14:08:04
status_changed: 2015-04-09 13:59:43
type: article
metadata_visibility: show
title: Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь
language: ukraine
abstract: Досліджено характер хімічного розчинення нелегованого та легованого оловом InAs в
розчинах системи HNO3-HBr-етиленгліколь. Побудовано поверхні рівних швидкостей травлення (діаграми Гіббса), з’ясовано кінетичні закономірності і визначено лімітуючі
стадії процесу розчинення та області поліруючих розчинів. Встановлено вплив легування на характер хімічного травлення арсеніду індію. На основі проведених експериментів
визначено концентраційні границі розчинів, які можна використовувати для різних хімічних обробок (полірування, селективне травлення) нелегованого та легованого оловом арсеніду індію. 
creators_name: Томашик, В. М.
creators_name: Томашик, З. Ф.
creators_name: Кусяк, Н. В.
ispublished: pub
subjects: QD
divisions: sch_che
full_text_status: public
date: 2001
date_type: published
publication: Фізика і хімія твердого тіла
volume: 2
number: 4
pagerange: 631-636
refereed: TRUE
issn: 1729-4428
citation:   Томашик, В. М., Томашик, З. Ф., Кусяк, Н. В.  (2001) Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь.  Фізика і хімія твердого тіла, 2 (4).  с. 631-636.  ISSN 1729-4428     
document_url: http://eprints.zu.edu.ua/16860/1/0204-13.pdf