%0 Journal Article %@ 0321-4095 %A Шелюк, І. О. %A Томашик, З. Ф. %A Томашик, В. М. %A Денисюк, Р. О. %A Стратійчук, І. Б. %D 2011 %F zu2:16866 %J Вопросы химии и химической технологии %N 1 %P 110-114 %T Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота %U http://eprints.zu.edu.ua/16866/