eprintid: 16866
rev_number: 12
eprint_status: archive
userid: 65
dir: disk0/00/01/68/66
datestamp: 2015-04-09 21:16:15
lastmod: 2015-04-09 21:20:42
status_changed: 2015-04-09 21:16:15
type: article
metadata_visibility: show
title: Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота
language: ukraine
creators_name: Шелюк, І. О.
creators_name: Томашик, З. Ф.
creators_name: Томашик, В. М.
creators_name: Денисюк, Р. О.
creators_name: Стратійчук, І. Б.
creators_id: denisuk@zu.edu.ua
ispublished: pub
subjects: QD
divisions: sch_che
full_text_status: public
date: 2011
date_type: published
publication: Вопросы химии и химической технологии
number: 1
pagerange: 110-114
refereed: TRUE
issn: 0321-4095
citation:   Шелюк, І. О., Томашик, З. Ф., Томашик, В. М., Денисюк, Р. О., Стратійчук, І. Б.  (2011) Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота.  Вопросы химии и химической технологии (1).  с. 110-114.  ISSN 0321-4095     
document_url: http://eprints.zu.edu.ua/16866/1/Shelyuk.pdf