relation: http://eprints.zu.edu.ua/17679/
title: Химико-механическое полирование полупроводников типа АІІІВV бромвыделяющими растворами
creator: Томашик, З. Ф.
creator: Шелюк, І. О.
creator: Томашик, В. М.
creator: Окрепка, Г. М.
creator: Чернюк, О. С.
creator: Денисюк, Р. О.
creator: Моравец, П.
subject: QD Хімія
date: 2010
type: Стаття
type: PeerReviewed
format: text
language: uk
identifier: http://eprints.zu.edu.ua/17679/1/A3B5_Br-vydil_%D0%92%D0%A5%D0%A5%D0%A2_2010_4.pdf
identifier:   Томашик, З. Ф., Шелюк, І. О., Томашик, В. М., Окрепка, Г. М., Чернюк, О. С., Денисюк, Р. О., Моравец, П.  (2010) Химико-механическое полирование полупроводников типа АІІІВV бромвыделяющими растворами.  Вопросы химии и химической технологии (4).  с. 119-122.  ISSN 0321-4095     
language: russian