%0 Journal Article
%@ 0321-4095
%A Томашик, З. Ф.
%A Шелюк, І. О.
%A Томашик, В. М.
%A Окрепка, Г. М.
%A Чернюк, О. С.
%A Денисюк, Р. О.
%A Моравец, П.
%D 2010
%F zu2:17679
%J Вопросы химии и химической технологии
%N 4
%P 119-122
%T Химико-механическое полирование полупроводников типа АІІІВV бромвыделяющими растворами
%U http://eprints.zu.edu.ua/17679/