eprintid: 17679
rev_number: 13
eprint_status: archive
userid: 65
dir: disk0/00/01/76/79
datestamp: 2015-06-04 20:52:00
lastmod: 2015-06-04 20:59:34
status_changed: 2015-06-04 20:52:00
type: article
metadata_visibility: show
title: Химико-механическое полирование полупроводников типа АІІІВV бромвыделяющими растворами
language: russian
creators_name: Томашик, З. Ф.
creators_name: Шелюк, І. О.
creators_name: Томашик, В. М.
creators_name: Окрепка, Г. М.
creators_name: Чернюк, О. С.
creators_name: Денисюк, Р. О.
creators_name: Моравец, П.
creators_id: denisuk@zu.edu.ua
ispublished: pub
subjects: QD
divisions: sch_che
full_text_status: public
date: 2010
date_type: published
publication: Вопросы химии и химической технологии
number: 4
pagerange: 119-122
refereed: TRUE
issn: 0321-4095
citation:   Томашик, З. Ф., Шелюк, І. О., Томашик, В. М., Окрепка, Г. М., Чернюк, О. С., Денисюк, Р. О., Моравец, П.  (2010) Химико-механическое полирование полупроводников типа АІІІВV бромвыделяющими растворами.  Вопросы химии и химической технологии (4).  с. 119-122.  ISSN 0321-4095     
document_url: http://eprints.zu.edu.ua/17679/1/A3B5_Br-vydil_%D0%92%D0%A5%D0%A5%D0%A2_2010_4.pdf