%0 Journal Article %A Томашик, В. М. %A Кусяк, Н. В. %A Томашик, З. Ф. %D 2002 %F zu2:17743 %J Неорганические материалы %N 5 %P 535-538 %T Химическое травление InAs, InSb и GaAs в растворах системы H2O2–HBr %U http://eprints.zu.edu.ua/17743/ %V 38