eprintid: 17753
rev_number: 14
eprint_status: archive
userid: 65
dir: disk0/00/01/77/53
datestamp: 2015-06-10 09:25:42
lastmod: 2015-06-10 09:34:28
status_changed: 2015-06-10 09:25:42
type: article
metadata_visibility: show
title: Химическое травление нелегированного и легированного арсенида индия в растворах системы HNO3–HBr–диметилформамид
language: russian
creators_name: Томашик, В. М.
creators_name: Кусяк, Н. В.
creators_name: Томашик, З. Ф.
ispublished: pub
subjects: QD
divisions: sch_che
full_text_status: public
date: 2001
date_type: published
publication: Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
number: 36
pagerange: 112-117
refereed: TRUE
citation:   Томашик, В. М., Кусяк, Н. В., Томашик, З. Ф.  (2001) Химическое травление нелегированного и легированного арсенида индия в растворах системы HNO3–HBr–диметилформамид.  Оптоэлектроника и полупроводниковая техника (36).  с. 112-117.      
document_url: http://eprints.zu.edu.ua/17753/1/Tom_2001_112.pdf