relation: http://eprints.zu.edu.ua/17755/
title: Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник
creator: Томашик, З. Ф.
creator: Чернюк, О. С.
creator: Томашик, В. М.
creator: Гриців, В. І.
creator: Кусяк, Н. В.
subject: QD Хімія
publisher: Ин-т физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева
date: 2005
type: Стаття
type: PeerReviewed
format: text
language: uk
identifier: http://eprints.zu.edu.ua/17755/1/Tom_2005_162.pdf
identifier:   Томашик, З. Ф., Чернюк, О. С., Томашик, В. М., Гриців, В. І., Кусяк, Н. В.  (2005) Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник.  Оптоэлектроника и полупроводниковая техника (40).  с. 162-166.  ISSN 0233-7577     
language: ukraine