%0 Journal Article
%@ 0233-7577
%A Томашик, З. Ф.
%A Чернюк, О. С.
%A Томашик, В. М.
%A Гриців, В. І.
%A Кусяк, Н. В.
%D 2005
%F zu2:17755
%I Ин-т физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева
%J Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
%N 40
%P 162-166
%T Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник
%U http://eprints.zu.edu.ua/17755/