eprintid: 17755
rev_number: 12
eprint_status: archive
userid: 65
dir: disk0/00/01/77/55
datestamp: 2015-06-10 09:38:43
lastmod: 2015-06-10 09:48:08
status_changed: 2015-06-10 09:38:43
type: article
metadata_visibility: show
title: Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник
language: ukraine
creators_name: Томашик, З. Ф.
creators_name: Чернюк, О. С.
creators_name: Томашик, В. М.
creators_name: Гриців, В. І.
creators_name: Кусяк, Н. В.
ispublished: pub
subjects: QD
divisions: sch_che
full_text_status: public
date: 2005
date_type: published
publication: Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
number: 40
publisher: Ин-т физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева
pagerange: 162-166
refereed: TRUE
issn: 0233-7577
citation:   Томашик, З. Ф., Чернюк, О. С., Томашик, В. М., Гриців, В. І., Кусяк, Н. В.  (2005) Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник.  Оптоэлектроника и полупроводниковая техника (40).  с. 162-166.  ISSN 0233-7577     
document_url: http://eprints.zu.edu.ua/17755/1/Tom_2005_162.pdf