%0 Conference Paper
%A Алєксєєва, О. О.
%A Чайка, М. В.
%A Камінський, О. М.
%A Денисюк, Р. О.
%B Scientific practice: modern and classical research methods: IV International Scientific and Practical Conference
%C Boston, USA
%D 2023
%F zu2:36962
%P 134-136
%T Вплив гідродинамічних умов на параметри хімічного травлення напівпровідникових матеріалів
%U http://eprints.zu.edu.ua/36962/