relation: http://eprints.zu.edu.ua/40088/ title: Вплив рН середовища на закономірність хімічного полірування напівпровідникових матеріалів creator: Тичина, М. П. creator: Чайка, М. В. subject: QD Хімія subject: TP Хімічна технологія date: 2024-05-01 type: Доповідь на конференції або симпозіумі type: PeerReviewed format: text language: uk identifier: http://eprints.zu.edu.ua/40088/1/AZH2024_tychina.pdf identifier: Тичина, М. П., Чайка, М. В. (2024) Вплив рН середовища на закономірність хімічного полірування напівпровідникових матеріалів. In: VIII Всеукраїнська наукова конференція «Актуальні задачі хімії: дослідження та перспективи», 1 травня 2024 року, Житомир, Україна. language: ukraine