eprintid: 8348 rev_number: 12 eprint_status: archive userid: 1567 dir: disk0/00/00/83/48 datestamp: 2012-11-21 11:58:03 lastmod: 2015-08-27 15:23:03 status_changed: 2012-11-21 11:58:03 type: article metadata_visibility: show title: Измерение скорости поверхностной рекомбинации и объемного времени жизни в Si пластинах по кинетике избыточного теплового излучения language: russian abstract: В работе представлен бесконтактный, неразрушающий метод измерений рекомбинационных параметров (скорость поверхностной рекомбинации, объемное и эффективное время жизни свободных носителей) в Si пластинах. Метод основан на анализе кинетики релаксации избыточного теплового излучения пластины за краем собственного поглощения Si (>3 мкм) при возбуждении коротким лазерным импульсом с энергией кванта больше ширины запрещенной зоны Si. Представлены экспериментальные результаты для пластин толщиной 300 мкм и 2 мм, возбужденных лазерным излучением с длинами волн 0.96 мкм и 1.06 мкм при температурах выше комнатной. Разделение поверхностной и объемной составляющих эффективного времени жизни проводится путем экстраполяции конечного участка кинетики релаксации избыточного теплового излучения до пересечения с координатной осью y. В работе представлен бесконтактный, неразрушающий метод измерений рекомбинационных параметров (скорость поверхностной рекомбинации, объемное и эффективное время жизни свободных носителей) в Si пластинах. Метод основан на анализе кинетики релаксации избыточного теплового излучения пластины за краем собственного поглощения Si (>3 мкм) при возбуждении коротким лазерным импульсом с энергией кванта больше ширины запрещенной зоны Si. Представлены экспериментальные результаты для пластин толщиной 300 мкм и 2 мм, возбужденных лазерным излучением с длинами волн 0.96 мкм и 1.06 мкм при температурах выше комнатной. Разделение поверхностной и объемной составляющих эффективного времени жизни проводится путем экстраполяции конечного участка кинетики релаксации избыточного теплового излучения до пересечения с координатной осью y. keywords: скорости поверхностной рекомбинации, избыточное тепловое излучение, время жизни coverage: Физика твердого тела creators_name: Богатыренок, В. В. creators_name: Зиновчук, А. В. ispublished: pub subjects: QC divisions: sch_phy full_text_status: public date: 2010 date_type: published publication: Физика и техника полупроводников volume: 45 number: 1 publisher: Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН pagerange: 62-66 refereed: TRUE issn: 0015-3222 official_url: http://journals.ioffe.ru/ftp/ citation: Богатыренок, В. В., Зиновчук, А. В. (2010) Измерение скорости поверхностной рекомбинации и объемного времени жизни в Si пластинах по кинетике избыточного теплового излучения. Физика и техника полупроводников, 45 (1). с. 62-66. ISSN 0015-3222 document_url: http://eprints.zu.edu.ua/8348/1/p62-66.pdf